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发明名称 MANUFACTURE OF WIRING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1131692(A) 申请公布日期 1999.02.02
申请号 JP19970185068 申请日期 1997.07.10
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 IKOMA KEIJI
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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