| 主权项 |
1.一种输送来自液化状态之气体的系统,该系统包括:(a)输送容器,其储存有大量液化电子特用气体于其中;(b)热交换器,其置于该输送容器上以提供能量或从液化气体中移除能量;及(c)压力控制器,其用于监视压力并调整输送到该液化气体中之能量,其中该压力控制器为可程式逻辑控制器或微处理器,且该压力控制器进一步在基于所量测到的压力以及所使用特别电子特用气体之压力/温度之曲线,利用一运算法则来决定在该大型容器内液相气体之温度。2.根据申请专利范围第1项的系统,其进一步包括导管,其具有第一端为与该输送容器连接以及具有第二端被设置用来输送实质上为气体形式之该液化气体到使用点。3.根据申请专利范围第2项的系统,其进一步包括压力感应器,其被连接到该导管及/或该容器。4.根据申请专利范围第2项的系统,其中该压力感应器测量液化气体的压力并且传送一讯号到该控制器。5.根据申请专利范围第4项的系统,其中该控制器导出在该容器内的液化气体的温度,并且在基于被程式化于该控制器中的一可接受温度范围,来启动热交换器。6.根据申请专利范围第1项的系统,其中该热交换器是设置在接近该液化气体之位置的容器较低部分上。7.根据申请专利范围第6项的系统,其中该热交换器是设置在该容器的下部四分之一的部分。8.根据申请专利范围第1项的系统,其中该输送容器是位于程序工厂的内部或是其外部。9.根据申请专利范围第2项的系统,其进一步包括在该导管上的阀,其用来控制输送液化气体到使用点。10.一种以控制方式输送来自液化状态之气体的方法,该方法包括:(a)提供一储存有大量的液化气体的输送容器;(b)以压力控制方式,经由热交换器供给能量或从该输送容器中移除能量;及(c)将该液化气体以一控制的流速从该容器输送到使用点。11.根据申请专利范围第10项的方法,其进一步包括:提供一控制器并且在基于所使用的气体下设定高和低的压力点以控制流速。12.根据申请专利范围第11项的方法,其进一步包括:当压力降低到低于室温时之设定压力时,将讯号从该控制器传送到该热交换器以供给能量到该输送容器。13.根据申请专利范围第10项的方法,其中该液化气体以实质上为气体状态被输送到使用点。14.根据申请专利范围第10项的方法,其进一步包括:提供一控制器并且在基于所使用的气体下设定高和低的温度点以控制流速。15.根据申请专利范围第14项的方法,其进一步包括:测量被送到使用点的液化气体的压力以及传送讯号到该控制器,其中一运算法则被用来导出该液化气体的温度。16.根据申请专利范围第15项的方法,其进一步包括:当液化气体之温度降低到低于特定气体之设定室温时,将讯号从该控制器传送到该热交换器以供给能量到该输送容器。17.根据申请专利范围第15项的方法,其进一步包括:当液化气体之温度为高于特定气体之设定室温时,将讯号从该控制器传送到该热交换器以从该输送容器中去除能量。18.根据申请专利范围第10项的方法,其中该能量被供给到该容器的较低部分。19.根据申请专利范围第18项的方法,其中该能量被供给到该容器的较低四分之一的部分,于此处气体是液体的形式。20.根据申请专利范围第10项的方法,其中气体是选择自由NH3.BCl3.CO2.SiH2Cl2.HBr、HCl、HF、N2O、C3F8.SF6及WF6所组成之族群中。图式简单说明:图式的图是根据本发明,输送来自液化状态之气体的系统之图解图。 |
