主权项 |
1.一种荫罩板用Fe-Ni系合金,系重量%下含有Ni:34-38% 、Mn:0.5%以下、溶解性Al:0.02%以下、N:0.0005-0.0100%、 其它为Fe及不可避免的不纯物所构成之荫罩板用Fe -Ni系合金,其特征在于: 上述溶解性Al含量除以27的値和N含量除以14的値中 之较小値为 0.00015以下;且于900℃以上的温度进行15分钟退火后 之0.2%耐力为260N/mm2以上。图式简单说明: 图1系显示本发明中(A/N)和于900℃退火后0.2%耐力的 关系之线图。 图2系用以说明蚀刻系数的图,系显示对设有抗蚀 层的合金施以蚀刻后的状态之侧截面图。 |