| 主权项 |
1.一种在极板网栅上布局的方法,该方法至少包含:对于积体电路图案中落于部分的该些网格之间的至少一线段进行最小网格的蛇行绘图以得到一蛇形图案;对该蛇形图案进行一飘移程序;及对该蛇形图案进行光罩的印刷。2.如申请专利范围第1项之方法,其中上述极板网栅具有多数个网格。3.如申请专利范围第2项之方法,其中上述飘移程序系在该极板网栅选取最邻近该蛇形图案的部分该些网格,使得该蛇形图案落在该极板网栅的网格所组成的图案上。4.如申请专利范围第3项之方法,更包含以该网格所组成的该图案取代该蛇形图案。5.一种藉由降低光罩临界尺寸飘移而增加光罩书写解析度的方法,该方法至少包含:提供一极板网栅,该极板网栅具有多数个网格;在该极板网栅上绘上一积体电路图案,其中该积体电路图案的一部份边线位于该最邻近网格的中间;对该积体电路图案的该些边线进行最小网格单位的蛇行绘图以得到一蛇形图案;及对该蛇形图案进行光罩的印刷。6.一种藉由降低光罩临界尺寸飘移而增加光罩书写解析度的方法,该方法至少包含:提供一极板网栅,该极板网栅具有多数个网格;在该极板网栅上绘上一积体电路图案;对该积体电路图案进行最小网格单位的蛇行绘图以得到一蛇形图案;对该蛇形图案进行一飘移程序,使得该蛇形图案落在该极板网栅的网格上;及对该蛇形图案进行光罩的印刷。7.如申请专利范围第6项之方法,其中上述飘移程序系在该蛇形图案中选取最邻近的该网格,以该网格所连结的线段以取代该蛇形图案。图式简单说明:第一图为使用传统的技术,在极板网栅上的积体电路图案进行飘移的示意图;第二图系根据本发明所揭露之技术,在极板网栅上的一种积体电路图案进行飘移的示意图;及第三图系根据本发明所揭露之技术,在极板网栅上的另一种积体电路图案进行飘移的示意图。 |
