发明名称 Vorrichtung für kontaktlose Positions- und Verschiebungsmessung
摘要
申请公布号 DE69805700(D1) 申请公布日期 2002.07.11
申请号 DE19986005700 申请日期 1998.03.04
申请人 VISHAY S.A., NIZZA/NICE 发明人 FLASSAYER, CLAUDE
分类号 G01D5/30;G01B11/00;G01D5/165;G01D5/26;H01L31/02;H01L31/16;(IPC1-7):G01D5/26 主分类号 G01D5/30
代理机构 代理人
主权项
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