发明名称 |
用于胶合两个基片的方法和装置 |
摘要 |
将两个基片(3,6)胶合成一个基片圆盘(23)用的方法,按此方法将一种胶合剂涂敷在一个第一基片(3,6)的一个待胶合的面上,并将一个第二基片(6,3)以它的待胶合的面放置在第一基片(3,6)上,可实现基片特别良好的、均一的和快速的胶合,没有空气夹杂物,而且只用简单的装置,为此将基片(3,6)围绕其中轴线加以旋转以达到离心甩出胶合剂的目的。还涉及到为实施本方法所用的一些装置。 |
申请公布号 |
CN1087223C |
申请公布日期 |
2002.07.10 |
申请号 |
CN98804663.6 |
申请日期 |
1998.04.02 |
申请人 |
施蒂格哈马技术股份公司 |
发明人 |
K·维伯尔;U·施贝尔 |
分类号 |
B32B31/12;G11B7/26;B05D5/10 |
主分类号 |
B32B31/12 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
崔幼平;章社杲 |
主权项 |
1.用来将两个基片(3,6)胶合成一个基片圆盘(23)的方法,依此方法将一种胶合剂涂敷在一个第一基片(3)的一个待胶合的面上,并且将一个第二基片(6)以它的待胶合的面放置在第一基片上,而且依此方法使两个基片(3,6)围绕其中轴线旋转以达到甩出胶合剂的目的,其特征在于:第一基片(3)的待胶合的面在涂敷胶合剂之前先施加预涂层。 |
地址 |
联邦德国斯台恩费尔斯 |