| 发明名称 |
Photosensitive composition and acid generator |
| 摘要 |
A photosensitive composition of the present invention has excellent sensitivity and pattern profile, which comprises an acid generator having a specific structure.
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| 申请公布号 |
US7033727(B2) |
申请公布日期 |
2006.04.25 |
| 申请号 |
US20030668348 |
申请日期 |
2003.09.24 |
| 申请人 |
FUJI PHOTO FILM CO., LTD. |
发明人 |
KODAMA KUNIHIKO |
| 分类号 |
G03C1/73;C07C381/12;C07D333/46;C07D335/00;C07D409/00;C09K3/00;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/30;H01L21/027 |
主分类号 |
G03C1/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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