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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER PARYLENBESCHICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69707005(T2) 申请公布日期 2002.07.04
申请号 DE19976007005T 申请日期 1997.10.24
申请人 SPECIALTY COATING SYSTEMS, INC. 发明人 WARY, JOHN;OLSON, A.;BEACH, F.
分类号 C08J7/16;B05D3/14;B05D7/24;B32B27/00;C08G61/10;C23C14/12;H01L21/312;(IPC1-7):B05D7/24 主分类号 C08J7/16
代理机构 代理人
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