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Halter für flache Werkstücke, insbesondere Halbleiterwafer, insbesondere in einer Vorrichtung zum chemisch-mechanischen Polieren der Halbleiterwafer, mit DOLLAR A - einem tellerartigen Kopf, der einen mit einer höhenverstellbaren Spindel verbundenen Tragabschnitt und eine Platte unterhalb des Tragabschnitts aufweist DOLLAR A - einem Universalgelenk zwischen der Halteplatte und einem Führungsabschnitt DOLLAR A - einer axialen Führung an der Spindel oder dem Tragabschnitt, in der der Führungsabschnitt axial geführt ist DOLLAR A - einer ringförmigen Membran zwischen Tragabschnitt und Halteplatte, die einen Druckraum zwischen diesen Teilen bildet DOLLAR A - einer ersten Verbindung des Druckraums wahlweise mit Atmosphäse, einer Druckquelle oder einer Vakuumquelle, wodurch die Halteplatte gegenüber dem Tragabschnitt verstellt wird DOLLAR A - einer Anlagemembran aus elastomerem, gasundurchlässigem Material, das am Rand fest und annähernd gasdicht mit der Halteplatte verbunden und an der Unterseite der Halteplatte flach anlegbar ist DOLLAR A - ersten Bohrungen in der Halteplatte, über die der Druckraum mit einem Spalt zwischen Membran und Unterseite der Halteplatte verbunden ist DOLLAR A - stutzenförmigen Ansätzen auf der Rückseite der Anlagemembran, die in zweiten Bohrungen der Halteplatte hineinstehen und mit Anschlüssen versehen sind zur Verbindung mit einer Zuleitung innerhalb des Druckraums, die ihrerseits mit einer Vakuumquelle verbindbar sind.
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