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<p>반도체 소자의 금속 배선 공정에서 금속 배선의 단락 및 브리지 결함을 모니터링하기 위한 패턴의 면적을 최소화하며, 배선의 단선 및 브리지 결함을 동시에 모니터링하며, 금속 배선의 단락 및 브리지 결함을 수직, 수평 구조 및 다양한 사선 구조에서 모니터링할 수 있도록 하기 위한 것으로, 하나의 라인 패턴으로 형성된 제 1배선 라인과 다수의 극 라인 패턴으로 형성된 제 2배선 라인을 다각형 나선 구조로 교대로 형성하며, 제 1배선 라인과 제 2배선 라인의 중앙부에 제 1, 제 2배선 라인의 일측단을 접속하는 공통 전극과 외부에 제 1, 제 2배선 라인의 타측단을 각각 접속하는 제 1, 제 2모니터링 전극을 형성하여 배선의 단락 및 브리지 결함을 3극 전극에 의해 동시에 측정할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.</p> |
