发明名称 CHEMICAL DEPOSITION METHOD USING CATALYST ON SURFACE
摘要
申请公布号 EP1038047(B1) 申请公布日期 2002.07.03
申请号 EP19990944883 申请日期 1999.09.11
申请人 GENITECH CO., LTD. 发明人 LEE, JI-HWA;HWANG, EUI-SEONG
分类号 B01J31/02;C23C16/14;C23C16/18;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/00;C23C16/06 主分类号 B01J31/02
代理机构 代理人
主权项
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