形成微型图案之树脂组成物及利用其形成微型图案的方法

摘要

本发明揭示一种形成微形图案的树脂组成物，其可以被用来减少在一半导体微影术的制程中之凹槽部分的面积或宽度。该树脂组成物系被涂覆在一光阻图案层上，并且系包含有一水性醇类或硷性溶液以及一水溶性聚合物。该树脂组成物可以被用来减少该光阻图案层的凹槽部分之宽度。因此，该树脂组成物可以形成能够克服波长的局限制之微形图案。