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发明名称
抛光方法及抛光装置
摘要
本发明揭示一种用于藉由使用一抛光卷带抛光一晶圆端面之抛光方法,其中在将一含一氧化剂之抛光液体供应至该晶圆端面之条件下抛光该晶圆端面。
申请公布号
TW200818297
申请公布日期
2008.04.16
申请号
TW096126950
申请日期
2007.07.24
申请人
新力股份有限公司
发明人
入卓
分类号
H01L21/304(2006.01);B24B21/00(2006.01)
主分类号
H01L21/304(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
日本
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