| 主权项 |
1.一种由八氟化环戊烯形成之电浆反应用气体,其特征为相对于该电浆反应用气体之总量,八氟化环戊烯的纯度为99.9容积%,而且作为残余之微量气体成分所包含氮气与氧气之总和量为200容积ppm以下,电浆反应用气体,其系使用于乾式蚀刻、化学蒸气沉积或灰化之任一种电浆反应中。2.如申请专利范围第1项之电浆反应用气体,其中水分含量为20重量ppm以下。3.一种制造如申请专利范围第1项之电浆反应用气体之方法,其特征为在0族钝气中精馏以八氟化环戊烯为主成分的反应粗制生成物。4.一种制造如申请专利范围第1项之电浆反应用气体之方法,其特征为包括精馏以八氟化环戊烯为主成分的反应粗制生成物至纯度99.9容积%的第1步骤,接着去除残留之微量不纯物,于0族钝气气氛下加热回流或简单蒸馏第1步骤所得之精馏物的第2步骤。5.一种制造如申请专利范围第1项之电浆反应用气体之方法,其特征为包括精馏以八氟化环戊烯得主成分的反应粗制生成物至纯度99.9容积%的第1步骤,接着去除残留之微量不纯物,于低温减压下进行脱气的第2步骤。6.如申请专利范围第4或5项之方法,其中第2步骤更包括施行分子筛或吸收剂之接触处理。7.如申请专利范围第3或4项之方法,其中0族钝气为选自于氦气、氖气、氩气中至少一种。 |
