YB<SUB>2</SUB>单晶的用途

摘要

本发明涉及YB₂单晶的用途,即作为外延GaN单晶薄膜的衬底材料。其步骤为利用熔盐籽晶提拉法或区熔法生长YB₂单晶,经定向、切割、抛光制成以(0001)面为主表面的衬底,并在其上利用MOCVD或MBE技术外延生长GaN单晶薄膜。YB₂作为外延GaN单晶薄膜的衬底材料,可降低外延生长GaN单晶薄膜的位错密度;晶体比较容易生长;且在外延温度下不会挥发污染外延真空室。

主权项

1.一种YB2单晶的用途，其特征在于用作外延生长GaN单晶薄膜的衬底材料。