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发明名称 Method and apparatus for mirror-like polishing a chamfer of a wafer having an orientation flat
摘要
申请公布号 EP0734811(B1) 申请公布日期 2002.06.26
申请号 EP19960105129 申请日期 1996.03.29
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.;FUJIKOSHI MACHINERY CORPORATION 发明人 ICHIKAWA, KOICHIRO;INADA, YASUO;HASEGAWA, FUMIHIKO;KURODA, YASUYOSHI;TSUCHIYA, TOSHIHIRO
分类号 B24B9/00;B24B9/06;B24B49/02;B24B49/12;(IPC1-7):B24B9/06;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
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