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发明名称
SPACER PROCESS TO ELIMINATE ISOLATION TRENCH CORNER TRANSISTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR20020049002(A)
申请公布日期
2002.06.24
申请号
KR1020027005606
申请日期
2002.05.01
申请人
发明人
分类号
H01L21/762
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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