发明名称 具智慧型之晶元破片影像监看自动录制系统和方法
摘要 一种具智慧型之晶元破片影像监看自动录制系统和方法,主要系由可同时监看晶元研磨时之状况之多台摄影装置,传送该摄影装置所摄得之影像讯号之多机影像传送器,接收由该多机摄影摄影传送器所传送之影像讯号,接收后将同时截取之影像合并于同一画面之多机影像接收器,可于其内部之影像截取卡之输入端接收该多机影像接收器所传来之影像讯号,并接收讯号传输装置之晶元进入和离开研磨装置之讯号及破片时之讯号之个人电脑(PC)所组成,而可利于工程人员判断、会诊、真因验证或工程改善管理。
申请公布号 TW492246 申请公布日期 2002.06.21
申请号 TW089118413 申请日期 2000.09.08
申请人 华邦电子股份有限公司 发明人 陈廷国;郭文进;廖泳森;林俊杰
分类号 H04N5/335;G01N21/88 主分类号 H04N5/335
代理机构 代理人 林火泉 台北市忠孝东路四段三一一号十二楼之一
主权项 1.一种具智慧型之晶元破片影像监看系统,其主要 构造系包括: 多台摄影装置,同时监看晶元研磨时之状况; 一多机影像传送器,传送该摄影装置所摄得之影像 讯号;一多机影像接收器,接收由该多机摄影摄影 传送器所传送之影像讯号,接收后将同时截取之影 像合并于同一画面;一个人电脑(PC),可于其内部之 影像截取卡之输入端接收该多机影像接收器所传 来之影像讯号,并接收一讯号传输装置之晶元进入 和离开研磨装置之讯号及破片时之讯号。2.如申 请专利范围第1项之监看系统,其中之摄影装置系 为CCD摄影机。3.如申请专利范围第1项之监看系统, 其中之讯号传输装置系为输入/输出埠(I/O Port)。4. 一种智慧型之晶元破片影像监看方法,其主要步骤 系包括︰ (1)首先,将一个人电脑(PC)中之Image(1)、Image(2)和 Image(3)三档清空; (2)确认晶元是否进入研磨装置,若否,重覆本步骤, 直至确定晶元进入研磨装置; (3)多台摄影装置开始截取影像并将该影像储存于 该Image(3)档中; (4)确认一晶元破片警讯是否打开,若是,一影像截 取系统保持并停止,若该晶元破片警讯未打开,则 继续下一步骤; (5)该多台摄影装置继续截取影像,且确认晶元是否 离开该研磨装置,若否,则回到该第(4)步骤,直至确 定晶元离开该研磨装置; (6)将Image(1)档储存到Image(2)档后将Image(3)储存到 Image(2)档,并清空Image(3)档; (7)重复该第(2)至(6)步骤,直至整批晶元研磨结束。 5.如申请专利范围第4项之监看方法,其中之步骤(5) 所使用之摄影装置系为CCD摄影机。6.如申请专利 范围第4项之监看方法,其中之第(2)步骤系从输入/ 输出埠中传送来之一晶元进入讯号来确认。7.如 申请专利范围第4项之监看方法,其中之第(4)步骤 从输入/输出埠中传送来之一晶元破片讯号来确认 。8.如申请专利范围第4项之监看方法,其中之第(5) 步骤从输入/输出埠中传送来之一晶元离开讯号来 确认。9.如申请专利范围第4项之监看方法,其中之 第(4)步骤中该影像截取系统保持并停止后,可经由 工作人员查证。10.如申请专利范围第9项之监看方 法,于工作人员查证后重回第(1)步骤。11.一种晶元 影像储存方法,其主要步骤系包括︰ (1)用复数台摄影装置截取一影像讯号; (2)将影像讯号传送至影像接收器; (3)该接收器接收影像讯号; (4)该接收器将同时截取之影像合并在同一画面; (5)确认晶元是否进入研磨室(储存指令是否为"ON"); (6)若晶元进入研磨室,则以一个人电脑(PC)中之截 取卡数位化截取之影像; (7)将该数位化截取之影像储存于该PC (8)中所设之一档Image(3)中。12.如申请专利范围第11 项之储存方法,其中之摄影装置为CCD摄影机。13.一 种控制卡,系由控制如申请专利范围第11项之储存 方法之第(3)至(7)步骤之机能性电路合并而成。图 式简单说明: 第1图:系本发明硬体实际接连示意图。 第2图:系本发明之具智慧型之晶元破片影像监看 自动录制系统和方法之流程图。 第3图:系本发明整个晶元监看影像之截取、合并 及储存程序图。 第4图:系本发明以IC设计方式和控制卡执行晶元监 看影像之截取、合并及储存程序之示意图。 第5图:系本发明衍生及改良之家庭防盗之自动监 录存证系统之流程图。
地址 新竹科学园区研新三路四号