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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON FILMMUSTERN UNTER ANWENDUNG DER ABHEBETECHNOLOGIE
摘要
申请公布号 DE69708787(T2) 申请公布日期 2002.06.20
申请号 DE19976008787T 申请日期 1997.02.18
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN 发明人 SPAK, A.;DAMMEL, R.;DEPRADO, MICHAEL
分类号 G03F7/022;G03F7/039;G03F7/09;G03F7/26;G03F7/38;G03F7/40;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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