用于汽相淀积的组合物、使用该组合物形成抗反射膜的方法及其光学元件

摘要

本发明的目的是提供一种用于制造具有在合成树脂底材上形成的多层抗反射膜的光学元件的方法,其中所形成的抗反射膜具有良好的耐热性,而且其耐热性随着时间降低很少。该方法使得在较短时间内形成高折射层成为可能,而不降低涂层固有的良好的物理特性。多层抗反射膜中的至少一个高折射层包含氧化铌、氧化锆、氧化钇,和可任选的氧化铝。

主权项

l.一种组合物，它包含氧化铌、氧化锆和氧化钇。