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发明名称 Surface sealing showerhead for vapor deposition reactor having integrated flow diverters
摘要
申请公布号 AU4149602(A) 申请公布日期 2002.06.18
申请号 AU20020041496 申请日期 2001.11.20
申请人 APPLIED EPI, INC. 发明人 ROBERT DOPPELHAMMER
分类号 C23C16/44;C23C16/455 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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