| 发明名称 |
PROCESS FOR FORMING A SEMICONDUCTOR DEVICE AND A CONDUCTIVE STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG89366(A1) |
申请公布日期 |
2002.06.18 |
| 申请号 |
SG20010000004 |
申请日期 |
2001.01.02 |
| 申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
PHILIP J. TOBIN;OLUBUNMI ADETUTU;BIKAS MAITI |
| 分类号 |
C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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