发明名称
摘要
申请公布号 JP3293105(B2) 申请公布日期 2002.06.17
申请号 JP19930064973 申请日期 1993.03.24
申请人 发明人
分类号 B29C45/26;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 B29C45/26
代理机构 代理人
主权项
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