SCHICHT MIT PORÖSEM SCHICHTBEREICH, EINE SOLCHE SCHICHT ENTHALTENDES INTERFERENZFILTER SOWIE VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG,申请号AT19970954706T-传众专利搜索

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发明名称	SCHICHT MIT PORÖSEM SCHICHTBEREICH, EINE SOLCHE SCHICHT ENTHALTENDES INTERFERENZFILTER SOWIE VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号	AT218213(T)	申请公布日期	2002.06.15
申请号	AT19970954706T	申请日期	1997.12.20
申请人	FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH	发明人	BERGER, MICHAEL;KRUEGER, MICHAEL;THOENISSEN, MARKUS;ARENS-FISCHER, RUEDIGER;LUETH, HANS;LANG, WALTER;THEISS, WOLFGANG;HILBRICH, STEFAN
分类号	C25F3/12;G02B5/20;G02B5/28;H01L21/306;(IPC1-7):G02B5/20	主分类号	C25F3/12
代理机构		代理人
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