摘要 |
Ein Abbildungsarray (500) von Fotodioden (16, 18, 504) auf einem aus einem Halbleiterwafer (27) geschnittenen Chip umfaßt eine Schutzdiode (14) an jeder Schnittkante (12) zur Verringerung eines Verluststroms von den Schnittkanten, wenn das Abbildungsarray verwendet wird. Die Fotodioden und die Schutzdiode können während des gleichen Unterprozesses aus den gleichen Materialien hergestellt werden. Mit dem Abbildungsarray gekoppelte elektrische Kontakte (508, 510, 512, 514) stellen eine Einrichtung zur Zuführung einer elektrischen Sperr-Vorspannung zu den Fotodioden und dem Schutzbereich mit Bezug auf den Wafer bereit.
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