| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM REDUZIEREN VON DEFEKTEN IN OXIDEN SCHICHTEN AUF SILIKONKARBIDEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69615390(T2) |
申请公布日期 |
2002.06.13 |
| 申请号 |
DE1996615390T |
申请日期 |
1996.10.28 |
| 申请人 |
CREE, INC. |
发明人 |
LIPKIN, A.;SLATER, B.;PALMOUR, W. |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/04;H01L21/316;(IPC1-7):H01L29/24;H01L21/02 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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