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发明名称 Polishing tool support and related method
摘要
申请公布号 EP0914906(A3) 申请公布日期 2002.06.12
申请号 EP19980309053 申请日期 1998.11.05
申请人 APLEX, INC. 发明人 WELDON, DAVID E.;HUYNH, TIM H.;KAO, SHU-HSIN
分类号 B24B21/04;B24B21/10;B24B37/04;B24B41/04;F16C32/06;H01L21/302;(IPC1-7):B24B37/04;B24B21/06 主分类号 B24B21/04
代理机构 代理人
主权项
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