| 摘要 |
<p>본 발명은 DUT로부터의 출력 신호를 양부(良否) 판정하는 지정 타이밍 구간에 있어서, 그 지정 타이밍 구간내의 전부가 하이 임피던스 상태인지의 여부를 검출 가능한 디지털 비교기를 실현하는 반도체 시험 장치를 제공한다. 이를 위해, 반도체 시험 장치의 디지털 비교기로서, 피시험 디바이스로부터의 출력 신호를 수신하여 양부 판정을 하는 지정 타이밍 구간내의 전역에 있어서 하이 임피던스 상태인지의 여부를 검출하는 수단을 구비하는 반도체 시험 장치를 제공한다.</p> |
