| 主权项 |
1.一种藉由比较一个欲检查之图型和一个参考图 型用以检查该欲检查之图型的图型检查装置,该图 型检查装置包括: 储存装置,用以储存该该参考图型; 输入装置,用以输入该欲检查之图型的一影像; 检查装置,藉由比较该欲检查之图型该输入之影像 的一边和该储存之参考图型的一边用以检查该欲 检查之图型;及 输出装置,用以输出该检查之结果。2.如申请专利 范围第1项之图型检查装置,其中该检查装置藉由 比较该欲检查之图型影像的该边和该参考图型的 该边,以在该欲检查之图型影像和该参考图型之间 导引匹配。3.如申请专利范围第2项之图型检查装 置,其中藉由扩张该欲检查之图型影像的该边导引 该匹配。4.如申请专利范围第2项之图型检查装置, 其中藉由扩张该参考图型影像的该边导引该匹配 。5.如申请专利范围第2项之图型检查装置,其中藉 由利用各别像素上该欲检查之图型影像中该等边 的振幅和该参考图型中该等边的振幅其全部的乘 积总和作为一个评估値,以导引该匹配。6.如申请 专利范围第2项之图型检查装置,其中藉由利用各 别像素上该欲检查之图型影像的边向量和该参考 图型的边向量其全部的内积总和作为一个评估値, 或藉由利用该等内积的绝对値总和作为一个评估 値,以导引该匹配,其中该等每一个边向量的大小 等于该边的振幅,且该等每一个边向量的方向与该 边的方向完全相同。7.如申请专利范围第2项之图 型检查装置,其中藉由变更该参考图型其每一个部 分的加权,以导引该匹配。8.如申请专利范围第1项 之图型检查装置,其中该检查装置假定该参考图型 该每一个像素的边相对应至该欲检查之图型影像 该每一个像素的边上。9.如申请专利范围第8项之 图型检查装置,其中在考虑该参考图型该每一个像 素的边和该欲检查之图型影像该每一个像素的边 之间的距离下,及在考虑该等两个边之间的方向差 下,导引该相对应假定。10.如申请专利范围第8项 之图型检查装置,其中该检查装置根据该欲检查之 图型影像的该等边建构一个区域,其中该检查装置 无法假定该欲检查之图型影像的该等边相对应至 该参考图型的该等边上,及该检查装置将该区域辨 识为一个有缺点的区域。11.如申请专利范围第8项 之图型检查装置,其中该检查装置根据该欲检查之 图型影像的该等边建构一个区域,其中该检查装置 成功地假定该欲检查之图型影像的该等边相对应 至该参考图型的该等边上,且该检查装置侦测出一 个区域,其中该区域的照度不均匀地分散在该等区 域之间,及将该区域判定成一个有缺点的区域。12. 如申请专利范围第10或11项之图型检查装置,其中 该检查装置根据该有缺点区域的几何特性量判断 一个缺点等级。13.如申请专利范围第10或11项之图 型检查装置,其中该检查装置根据该有缺点区域其 照度値的一个特性量判断一个缺点等级。14.如申 请专利范围第8项之图型检查装置,其中该检查装 置就该参考图型计算该欲检查之图型的一个或多 个图型变形量。15.如申请专利范围第14项之图型 检查装置,其中该图型变形量包括下面的至少一项 :一个移置量;一个倍率变化量;及该线宽的一个扩 张量。16.如申请专利范围第14项之图型检查装置, 其中该检查装置将该图型的一个层性增加到该参 考图型上。17.如申请专利范围第1项之图型检查装 置,其中该检查装置获得该欲检查之图型影像的一 个轮廓;侦测该每一个轮廓的预定点;以一条曲线 逼近该等侦测之点;及假定该曲线为该欲检查之图 型影像的一个边。18.一种藉由比较一个欲检查之 图型和一个参考图型用以检查该欲检查之图型的 图型检查方法,该图型检查方法包括: 一输入步骤,输入该欲检查之图型的一影像; 一检查步骤,藉由比较该欲检查之图型该输入之影 像的一边和该储存在储存装置中之参考图型的一 边,以检查该欲检查之图型;及 一输出步骤,输出该检查的结果。19.一种用以记录 一个程式之记录媒体,其中该程式使一电脑执行一 种图型检查方法,且可由该电脑读取该程式,及其 中该图型检查方法藉由比较一个欲检查之图型和 一个参考图型用以检查该欲检查之图型,该图型检 查方法包括: 一输入步骤,输入该欲检查之图型的一影像; 一检查步骤,藉由比较该欲检查之图型该输入之影 像的一边和该储存在储存装置中之参考图型的一 边,以检查该欲检查之图型;及 一输出步骤,输出该检查的结果。图式简单说明: 图1,为说明一个根据该设计资料之理论图型其一 个范例的图示; 图2,为说明一个实际上根据该设计资料而制造之 图型其一个范例的图示; 图3,为说明一个根据本发明其一个具体实施例之 图型检查装置其所实行之该检查处理的概要图示; 图4,为说明根据本发明该具体实施例之该图型检 查装置其硬体建构之一个范例的图示; 图5,为说明根据本发明该具体实施例之该图型检 查装置其功能方块图的图示; 图6,为说明根据本发明之该具体实施例中秘诀登 记处理之一个范例的流程图; 图7,为说明一个校正一参考图型之范例的图示; 图8,为用以解说一个循序检查之图示; 图9,为用以解说一个随机检查之图示; 图10,为说明该参考图型其一个范例之图示; 图11,为说明一个将图10的该参考图型转换成各别 像素的边向量之范例的图示; 图12,为说明一个将该包括一条曲线的参考图型转 换成该等边向量之范例的图示; 图13A-13D,为说明根据本发明之该具体实施例中该 检查处理之一个范例的流程图; 图14,为说明一个以对照物接附在该图型内部和该 背景上之影像(欲检查之图型影像)其一个范例的 图示; 图15,为说明自图14该影像中所侦测出之边的图示; 图16,为说明一个只有轮廓才明亮的影像(该欲检查 之图型影像)其一个范例之图示; 图17,为说明自图16该影像中所侦测出之该等边的 图示; 图18,为说明一个欲检查之一维图型影像该等边振 幅之一个范例的图示; 图19,为说明扩张图18该等边之一个范例的图示; 图20,为说明该一维参考图型该等边振幅之一个范 例的图示; 图21,为说明扩张图18该等边之另一个范例的图示; 图22,为说明该一维参考图型该等边振幅之另一个 范例的图示; 图23,为说明扩张图18该等边之另一个范例的图示; 图24,为说明一个平滑法过滤器之一个范例的图示; 图25,为说明一个欲检查之二维图型影像该等边振 幅之一个范例的图示; 图26,为说明扩张图25该等边之一个范例的图示; 图27,为说明扩张图25该等边之另一个范例的图示; 图28,为说明该欲检查之二维图型影像该等边向量 之一个范例的图示; 图29,为说明扩张图28该等边向量之一个范例的图 示; 图30,为说明扩张图28该等边向量之另一个范例的 图示; 图31,为图10的另一个图示,其中以该等各别像素的 边向量表示图10的该参考图型; 图32,为一个用以解说该匹配的图示; 图33和图34,为重叠图29和图31所形成的图示; 图35A,为说明该参考图型其一个范例之图示; 图35B,为说明该欲检查之图型影像其一个范例之图 示; 图36,为说明一个该架线间隔和该背景间隔完全相 同之范例的图示; 图37A,为说明该参考图型其一个范例之图示; 图37B,为说明图37A该参考图型和该欲检查之图型影 像之间的关系之一个范例的图示; 图38,为说明“在导引该匹配之后、该欲检查之图 型影像的该等边"和“该参考图型的该等边"之一 个范例的图示; 图39A,为说明该参考图型该等边之一个范例的图示 ; 图39B,为说明该欲检查之图型影像该等边之一个范 例的图示; 图40,为说明一种用以产生方向资讯之技艺其另一 个范例之图示; 图41,为说明该欲检查之图型影像其一个范例之图 示; 图42,为说明该照度値其频率分散之一个范例的图 示; 图43A,为说明“该参考图型的该等边"和“该欲检 查之图型影像的该等边"其一个范例之图示; 图43B,为说明一个范例之图示,其中于该范例中,以 一条递回线D(x)逼近图43A中所示之该等两个边之间 该等在y=y0上之向量d(x,y0)的x-元件; 图44A,为说明“该参考图型的该等边"和“该欲检 查之图型影像的该等边"其另一个范例之图示; 图44B,为说明一个范例之图示,其中于该范例中,以 该递回线D(x)逼近图44A中所示之该等两个边之间该 等在y=y0上之向量d(x,y0)的x-元件; 图45,为说明该图型其属性之一个范例的图示; 图46A和图46B,为说明该顶端移置量之图示; 图47,为说明该隔离图型其距心移置量之图示; 图48A,为说明该参考图型该边之角隅其一个范例之 图示; 图48B,为说明该欲检查之图型影像该边之角隅其一 个范例之图示; 图49,为说明轮廓获得部分其一个范例之图示; 图50,为说明该等曲线将石模拟器所获得之该暴露 图型的形状划界之图示; 图51,为说明图49其一个扩大部分(B部分)之图示; 图52,为说明图51其一个扩大部分(C部分)之图示; 图53,为说明该轮廓其一个范例之图示; 图54A和图54B,为说明该等“藉由曲线将第等二个边 的位置(点)逼近"和“获得该等第二个边"之范例的 图示; 图55A,为说明该等轮廓获得部分其另一个范例之图 示; 图55B,为说明该欲检查之图型影像其第一个边和该 第二个参考图型其第一个边之间的关系之一个范 例的图示;及 图56,为说明一个利用一高倍率影像和一低倍率影 像导引该测量之范例的图示。 |
