| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung eines Tunnelkontaktes sowie eine Vorrichtung umfassend Mittel zur Erzeugung eines Tunnelkontaktes. Ferroelektrische Materialien werden u. a. in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Das erfindungsgemäße Verfahren sowie die Vorrichtung nutzt ferroelektrische Materialien zur Herstellung eines Tunnelkontaktes. Durch dieses Verfahren sowie die Vorrichtung wird eine gegenüber herkömmlichen Verfahren und Vorrichungen schnellere und empfindlichere Auswertung elektrischer bzw. elektromagnetischer Signale möglich.</p> |
