发明名称 Trockenätzverfahren eines Polyzids ohne Verwendung von FCKW-Gasen
摘要
申请公布号 DE69331862(D1) 申请公布日期 2002.06.06
申请号 DE19936031862 申请日期 1993.02.11
申请人 SONY CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 KADOMURA, SHINGO
分类号 H01L21/28;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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