| 发明名称 |
Dielektrische Dünnfilmanordnung und Herstellungsverfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69430501(D1) |
申请公布日期 |
2002.06.06 |
| 申请号 |
DE19946030501 |
申请日期 |
1994.06.22 |
| 申请人 |
SHARP K.K., OSAKA |
发明人 |
MASUDA, YOSHIYUKI;OGIMOTO, YASUSHI;OOTANI, NOBORU |
| 分类号 |
C01G23/00;C01G25/00;C23C18/12;G01N29/02;H01B3/00;H01G4/33;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;H01L37/02;H01L41/08;H01L41/113;(IPC1-7):H01L27/115 |
主分类号 |
C01G23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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