| 发明名称 |
Beam control in a scanning microscope |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2369739(A) |
申请公布日期 |
2002.06.05 |
| 申请号 |
GB20010023392 |
申请日期 |
2001.09.28 |
| 申请人 |
* LEICA MICROSYSTEMS HEIDELBERG GMBH |
发明人 |
JOHANN * ENGELHARDT;WERNER * KNEBEL |
| 分类号 |
G02B26/10;G02B21/00;G02B21/06;G02B21/24;G02B21/36;G06T1/00;(IPC1-7):G02B26/10 |
主分类号 |
G02B26/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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