发明名称 ABATEMENT OF EFFLUENT FROM CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESSES USING LIGAND EXCHANGE RESISTANT METAL-ORGANIC PRECURSOR SOLUTIONS
摘要
申请公布号 KR20020042724(A) 申请公布日期 2002.06.05
申请号 KR1020027004953 申请日期 2002.04.18
申请人 发明人
分类号 B01D53/02 主分类号 B01D53/02
代理机构 代理人
主权项
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