发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR EFFICIENTLY COMPUTING A NUMBER OF INTEGRATED CIRCUIT DIES
摘要
申请公布号 EP1210731(A2) 申请公布日期 2002.06.05
申请号 EP20000989646 申请日期 2000.10.02
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.;PHILIPS SEMICONDUCTORS INC. 发明人 MAGEE, MICHAEL, R.;BEER, MICHAEL, D.;ERCK, WESLEY, R.
分类号 H01L21/02;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址