| 发明名称 |
Poleringsoppslemming for kjemisk-mekanisk polering av metall- og dielektrikastrukturer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NO20015904(A) |
申请公布日期 |
2002.06.05 |
| 申请号 |
NO20010005904 |
申请日期 |
2001.12.03 |
| 申请人 |
BAYER AG |
发明人 |
VOGT, KRISTINA;PASSING, GERD;TSAI, MING-SHIH |
| 分类号 |
B24B37/00;B24B1/00;C09G1/02;C09G1/04;C09K3/14;C23F3/00;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/321;H05K3/26;(IPC1-7):C09G1/02;H01L21/30 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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