| 发明名称 |
Wafer-level transfer of membranes in semiconductor processing |
| 摘要 |
Techniques for transferring a membrane from one wafer to another wafer to form integrated semiconductor devices. |
| 申请公布号 |
AU4159702(A) |
申请公布日期 |
2002.06.03 |
| 申请号 |
AU20020041597 |
申请日期 |
2001.11.02 |
| 申请人 |
CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY |
发明人 |
EUI-HYEOK YANG;DEAN WIBERG |
| 分类号 |
B81C1/00;H01L21/20;H01L21/762 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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