定位器装置改良

摘要

本创作乃关于300mm晶圆工厂中所用辅助晶圆搬运移动之人工搬运车之定位器，其主要构成部件包括：一底板及一盖板，底板系按实际定位所需位置以螺丝固定于地面(无尘室之高架地板)或机台，盖板则再以螺丝固定于底板上方，由其突起之引导柱与人工搬运车之对应定位机构互相紧密接合，将人工搬运车固定，让操作员可进行后续之晶圆盒装卸工作，达到能省力、迅速及安全完成晶圆盒移动之目的。

主权项

一种300mm晶圆人工搬运车定位器,其主要构成部件包括:一地面/机台侧底板及一盖板,底板呈长方形,系按实际定位所需位置以螺丝固定于地面或机台,底板两侧各有一长椭圆形螺丝槽,以螺丝穿过长椭圆形螺丝槽,调整底板之前后左右位置,再将螺旋锁紧,使底板固定于下方之地面或机台上,盖板呈""形,以螺丝固定于底板上方,由其突起之引导柱与人工搬运车之对应定位机构互相紧密接合,将人工搬运车固定,盖板另有二预留之长条状沟槽,可视实际需要加装挡板,以螺丝穿过盖板上之二长椭圆形螺丝槽,锁入底板上之二对应螺丝孔,调整盖板之左右位置,再将螺旋锁紧,使盖板固定于底板上方。图式简单说明:图式一:系习用产品之立体示意图。图式二:系本创作之立体示意图。