发明名称 WAFER-LEVEL TRANSFER OF MEMBRANES IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
摘要 Techniques for transferring a membrane from one wafer (100) to another wafer (200) to form integrated semiconductor devices.
申请公布号 WO0243118(A2) 申请公布日期 2002.05.30
申请号 WO2001US46847 申请日期 2001.11.02
申请人 CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY;YANG, EUI-HYEOK;WIBERG, DEAN 发明人 YANG, EUI-HYEOK;WIBERG, DEAN
分类号 B81C1/00;H01L21/20;H01L21/762 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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