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发明名称 Photolack-Entfernungslösung und Verfahren zur Entfernung von Photolack unter Verwendung derselben
摘要
申请公布号 DE69620848(D1) 申请公布日期 2002.05.29
申请号 DE19966020848 申请日期 1996.11.13
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 TANABE, MASAHITO;WAKIYA, KAZUMASA;KOBAYASHI, MASAKAZU;NAKAYAMA, TOSHIMASA
分类号 C11D7/10;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/50;C11D17/08;G03F7/42;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/42 主分类号 C11D7/10
代理机构 代理人
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