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发明名称 WAFER TRANSFER EQUIPMENT AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT USING THE SAME
摘要
申请公布号 JP2002151567(A) 申请公布日期 2002.05.24
申请号 JP20000334744 申请日期 2000.11.01
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 ISHII TOSHIHITO
分类号 B25J15/08;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B25J15/08
代理机构 代理人
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