电介质电容器及其制造方法

摘要

本发明的目的在于提供显示出优异的介电特性的电介质电容器。硅基片2上设置有二氧化硅层4、下部电极12、强电介质层8、以及上部电极15。下部电极12由氧化钯构成。而上部电极15也由氧化钯构成。氧化钯能防止强电介质膜8中的氧透过。以此，可以得到显示出优异的介电特性的电介质电容器。#!

主权项

1.一种电介质电容器，其特征在于，具备：至少具有WOx层、TiOx层、TaOx层、IrO2层、PtO2层、RuOx层、ReOx层、PdOx层、OsOx层中的任一氧化层，并且在上面形成W层、Ti层、Ta层、Ir层、pt层、Ru层、Re层、Pd层、Os层中的任一导体层的下部电极、形成于下部电极上的所述导体层上面，由强电介质或具有高介电常数的电介质构成的电介质层、在该电介质层上形成的上部电极。