| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung offenbart eine Vorrichtung zum zielgerichteten Bewegen von elektronischen Bauteilen mit einer Handhabungseinrichtung (2) und einer Kontakteinrichtung (8) sowie mit einer Vorrichtung (12) zur Reflexion von Schall- oder Lichtwellen, welche in die optische Achse (11) zwischen der Handhabungseinrichtung (2) und der Kontakteinrichtung (8) einschiebbar und/oder um eine kontakteinrichtungsseitige Drehachse (9) und eine handhabungseinrichtungsseitige Drehachse (10) oder um eine mittige Drehachse (24) translatorisch und/oder rotatorisch einschwenkbar ist, wobei diese mindestens eine Vorrichtung (12) zur Reflexion die Kontaktseite (4) des zu prüfenden elektronischen Bauteils (3) einerseits und die Kontaktseite (6) der Kontakteinrichtung (8) andererseits und/oder die der Kontakteinrichtung (8) zugewandte Seite der Handhabungseinrichtung (2) vollständig oder teilweise in Richtung einer oder mehrerer außerhalb der optischen Achse (11) vorgesehener Meßvorrichtungen (5) abbildet, wobei die starre oder veränderliche Positionierung und Ausrichtung der Meßvorrichtung (5) unter Beibehaltung der Funktionsfähigkeit in x- und/oder y- und/oder z-Richtung in weiten Bereichen variabel ist.</p> |
