| 摘要 |
<p>본 발명은 다음의 물성 또는 특성을 갖는 연마제용 산화 세륨 입자에 관한 것이다. (1) 분말 X선 회절 패턴의 주 피크의 반값 폭이 0.4 °내지 5.0 °인 산화 세륨 입자. (2) 비표면적이 25 ㎡/g 내지 1,000 ㎡/g인 산화 세륨 입자. (3) 정치법에 의해 측정한 외관 밀도가 0.80 g/㎖ 내지 1.30 g/㎖ 이하인 산화 세륨 입자. (4) 탭법에 의해 측정한 외관 밀도가 1.00 g/ml 내지 1.60 g/㎖인 산화 세륨 입자. (5) 투과형 전자 현미경에 의한 관찰에서 1차 입자경이 10 ㎚이하인 1차 입자가 전체 입자수의 90 % 이상인 산화 세륨 입자. (6) 1차 입자경이 10 ㎚이하인 1차 입자가 전체 입자수의 90 % 이상이고, 1차 입자가 응집된 2차 입자경이 1 ㎛ 이하인 2차 입자가 전체 입자수의 90 % 이상인 산화 세륨 입자. (7) 직경이 1 ㎛ 이하인 2차 입자가 전체 수의 90 % 이상이고, 상기 2차 입자가 120 °보다 작은 각부를 포함하지 않는 윤곽을 가진 산화 세륨 입자. (8) 1차 입자의 종횡비가 2.0 이하인 입자가 전체 입자수의 90 % 이상인 산화 세륨 입자.</p> |
