Optischer Modulator. Verfahren zur Herstellung desselben und photonische Halbleitereinrichtung

摘要

Ein optischer Wellenleitergrat 14 hat eine Seite mit einem ebenen Teil 14a, das gleichförmig von einer Spitze des Grates zu einer Oberfläche eines Halbleitersubstrats 12 reicht, wobei das ebene Teil 14a mit einer freigelegten Oberfläche des Substrats 12 in Kontakt ist. Eine p-Typ-Elektrode 22 reicht von der Spitze des optischen Wellenleitergrates 14 hinab und ist in engem Kontakt mit einem dielektrischen Film 16, mit dem der ebene Teil 14a des optischen Wellenleitergrates 14 versehen ist. Die p-Typ-Elektrode 22 reicht weiter über den dielektrischen Film 16 zur freigelegten Oberfläche des Halbleitersubstrats 12, wo ein Ende der Elektrode 22 als Anschlußfleck 22a ausgebildet ist.