含镍等金属工件之研磨法

摘要

本发明系有关一种含镍等金属工件之研磨法，其中一受驱动旋转之磨片(2)在研磨工件(1)时被一受驱动旋转之校正轮(3)以持续进给(Vfrd)而连续校正，为提高研磨功率，使校正进给速度为磨片每一转1至2μm，磨片旋转速度(Vs)至少为45m/s，并调整工作台移动速度(Vt)使得单位时间切削体积至少为90mm3/mms。

主权项

1.一种含镍等金属工件之研磨法,其中一受驱动旋转之磨片(2)在研磨工件(1)时被一受驱动旋转之校正轮(3)以持续进给(Vfrd)而连续校正,其特征为,使校正进给速度为磨片每一转1至2m,磨片旋转速度(Vs)至少为45m/s,并调整工作台移动速度(Vt)使得单位时间切削体积至少为90 mm3/mms。2.如申请专利范围第1项之研磨法,其中磨片为高度多孔,其空气体积尤其为50%。3.如申请专利范围第1或2项之研磨法,其中磨片旋转速度高于50 m/s,最好是高于60 m/s,且工作台移动速度使得单位时间切削体积大于100 mm3/mms或150 mm3/mms。图式简单说明:图1系进行本发明方法之装置示意图。图2系可达最佳研磨结果之参数组。