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发明名称
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ANPASSUNG EINER LAST AN EINE QUELLE
摘要
申请公布号
DE69711691(D1)
申请公布日期
2002.05.08
申请号
DE19976011691
申请日期
1997.12.19
申请人
LAM RESEARCH CORP., FREMONT
发明人
WILLIAMS, NORMAN;JEWETT, F.
分类号
H01L21/302;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H03H7/40;(IPC1-7):H03H7/40
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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