发明名称 Method of multi processing to bake plates in a spinner machine
摘要 <p>본 발명의 스피너 장비 베이크 모듈 운영 방법은, 주조절기에 각 베이크 모듈에 대해 복수의 온도값 및 오프셋 값의 등록장소를 마련하고, 상기 등록장소에 상기 각 베이크 모듈에 대한 복수의 목표 온도값을 입력하고, 상기 목표 온도값 각각에 대해 일괄적으로 실제온도와의 차이인 오프셋 값을 측정하여 상기 목표 온도값과 연관하여 입력함으로써 데이터 베이스화 하고, 실제 공정을 진행할 때 상기 각 베이크 모듈에 대해 상기 데이터 베이스에서 특정 온도값을 선택함으로써 온도값과 해당 오프셋 값을 지정하여 운영하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 실 공정 온도값을 변경시키는 경우에도 온도값 입력에 따르는 불편함과 입력 오류를 줄일 수 있고, 오프셋 값을 새로 측정하는 번거로움을 줄여서 장비를 보다 효율적으로 사용할 수 있게 된다.</p>
申请公布号 KR100336043(B1) 申请公布日期 2002.05.08
申请号 KR19990047007 申请日期 1999.10.28
申请人 null, null 发明人 윤순영
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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