| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;ACR AUTOMATION IN CLEANROOM DRESDEN GMBH;INSTITUT FUER MIKROTECHNIK MAINZ GMBH;KARL STORZ GMBH & CO. KG |
发明人 |
SCHMUTZ, WOLFGANG;ERNST, GUENTER;BERG, UDO;KAEMPER, KLAUS-PETER;RENNER, KLAUS;ROTHMAIER, ULRICH;RUDISCHHAUSER, JUERGEN;GRIMME, RALF;SCHLENKER, DIRK;STOCK, ACHIM;SCHAEFER, WOLFGANG |
