| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 시험 장치를 사용하여 반도체 디바이스의 단자에 발생하는 디바이스 전류를 측정하는 전류 측정 방법으로서, 단자와 반도체 디바이스의 어스 전위 사이에 콘덴서를 접속하는 공정과, 콘덴서를 소정의 전압으로 축전(蓄電)하는 공정과, 반도체 디바이스를 동작시키는 동작 공정과, 소정의 시험 시간 경과후에 콘덴서의 단자측 전위를 측정하는 공정과, 시험 시간, 콘덴서의 용량 및 전위에 따라 디바이스 전류를 산출하는 공정을 구비하는 전류 측정 방법을 제공한다.</p> |
